央广网蚌埠5月23日消息（记者徐秋韵）当清晨的第一缕阳光穿透窗帘，手机屏保的晨曦画面已随环境光线自动调节亮度；通勤途中，车载系统感知到突发路况的0.01秒内，安全气囊已进入待命状态；工业机器人抓取器件时，关节处的“电子神经元”正编织着精密的动作轨迹……
这些场景，不能离开传感器，智能传感器如同现代工业产品的“五官”，能听到、看到、闻到、感受到，也让世界更加“聪明”。
近年来，智能传感器作为AI产业发展的重要基石，在物联网、虚拟现实（VR）、机器人、智能家居、自动驾驶汽车等产业高质量发展中的关键支撑作用愈加凸显，而MEMS传感器需求尤为旺盛。
它是一种微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanicalSystem），通过微纳加工技术将机械结构和电子元件集成在微米尺度的芯片上。
需求的激增也让MEMS传感器产业成为众多城市布局的赛道、发力的方向。在淮河之滨的安徽蚌埠，一片指甲盖大小的MEMS芯片，正撬动千亿级智能传感器产业的未来。2021年，在安徽省级支持下，蚌埠启动建设中国传感谷，推动智能传感器产业集聚发展。2024年，中国传感谷被评为全国MEMS传感器十大园区。
在位于蚌埠的安徽北方微电子研究院的展厅里，一张张刻有精密结构的晶圆片，记录着这座城市的“独门绝技”。
“MEMS传感器的芯片制造就是在硅片上做‘木匠活儿’。”国内中高端MEMS技术与产品头部企业安徽北方微电子研究院集团有限公司传感器事业部副总经理焦贵忠给记者打了个比方，他介绍，传统半导体工艺是平面雕刻，MEMS传感器芯片工艺却是立体“微雕”，一层层堆叠，精度要求高且结构复杂。
近日，依托安徽北方微电子研究院先进技术和产业链所成立的安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设的8英寸MEMS晶圆生产线迎来一个个关键节点。华鑫微纳副总经理丁敬秀介绍，目前串线款产品已经完成全流程工程批流片开始调试生产，计划6月底前交付客户做功能和可靠性验证。
华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线上，光刻工程师对晶圆表面进行检测（央广网记者 徐秋韵摄）
生产线投产后，智能传感器的核心部件——MEMS芯片将在蚌埠产出，向安徽乃至全国的智能传感器企业供货，为整个产业链安全提供有力支撑。
记者在采访中了解到，不少企业看重蚌埠的晶圆制造能力，蚌埠目前已经拥有6英寸高性能体硅MEMS晶圆制造平台，而华鑫微纳的8英寸MEMS晶圆生产线项目建成后，有望成为全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线以及国内MEMS晶圆产出最大（3万片/月）的生产线家客户达成合作意向，签订流片需求合计21万片，累计签订合同1.2亿元。
这种出色的晶圆制造能力也成为中国传感谷招商的“吸铁石”。蚌埠经开区党工委委员、管委会副主任汤伟注意到，“8英寸MEMS晶圆生产线”吸引了不少智能传感器企业了解园区、落户园区。就在前不久，江苏甫瑞微纳传感科技有限公司生产基地项目落户中国传感谷，基地主要从事车规级气体和高压MSG力传感器的研发和生产。“他们不仅需要MEMS中试平台，更需要一个能够为他们提供量产代工的平台，华鑫微纳建设的‘定制化、柔性化MEMS代工平台基地’刚好满足企业量产的需求。”汤伟介绍。
一个个传感器企业正在蚌埠聚链成势，安徽希磁科技股份有限公司在新能源汽车电流传感器领域的市场占有率超过30%，居行业第一，针对智能机器人应用场景，公司研发的智能机器人运动量编码器得到了行业认可，填补国内磁编码器空白；安徽芯动联科微系统股份有限公司于2023年成功上市，凭借国产高性能惯性传感器“隐形冠军”身份，成为行业标杆企业……目前，中国传感谷内，“一谷三园”布局已串联起200余家企业。
在省级层面，去年，安徽出台《关于支持中国传感谷发展若干政策》，内容涉及加大投入、创新发展、人才引育等五个方面，多举措支持中国传感谷发展。
一流研发能力是打开创新创业新局的“引擎”，如何为园区企业提供全方位的科研技术支撑？蚌埠市科技局党委委员、副局长闻建忠表示，蚌埠坚持“一个科研院所带动一个产业高质量发展、一个驻蚌高校共建一个产业园区、每个企业都拥有一个核心技术支撑”的发展思路，强化与大院大所、驻蚌高校院所人才共同引育、区域协同创新、成果就地转化等体制机制。
蚌埠市政府与西安交通大学、北方微电子研究院有限公司共建精密微纳制造技术全国重点实验室长三角（蚌埠）产教融合协同中心；安徽省微机电系统（MEMS）技术产业创新研究院获批成立；兰州大学与安徽希磁科技股份有限公司联合建设“磁传感联合实验室”……蚌埠围绕智能传感关键技术核心已成功申报创建创新平台39个，其中国家级创新平台6个，这些创新平台推动优质科研资源导入蚌埠，赋能传感器企业发展。
精密微纳制造技术全国重点实验室长三角（蚌埠）产教融合协同中心成立（央广网发 蚌埠市委宣传部供图）
在资金支持方面，蚌埠组建了总规模超70亿元的智能传感产业投资基金。蚌埠经开区积极打造“基金+产业载体”的方式，目前已组建基金4支，总规模26亿元。同时，积极对接金融机构，借助“投贷联动”等金融产品优势，解决企业资金需求。
在人才支持方面，安徽省人力资源和社会保障厅近日正式批准中国（蚌埠）传感谷园区设立为省级留学人员创业园，标志着该园区在推动智能传感产业集聚、吸引海外高层次人才创新创业方面迈入全新阶段。
蚌埠还探索推进场景招商，围绕新技术新领域梳理、公布场景清单，如智慧城市、人形机器人等应用场景，告诉企业“我们有什么，我们要什么”，吸引智能传感器上中下游产业链企业落地，共筑传感器产业生态。
5月24日上午，第七届智能传感器产业高质量发展大会将在蚌埠举行。这里的故事，是关于一粒“芯”如何撬动一座城的产业觉醒，500余名专家、企业家将齐聚珠城，共同探讨智能传感器产业高质量发展未来，聚力推动中国传感谷建设再上新台阶。
感知无界，未来已来。蚌埠也正以“见微知著”的智慧，在智能传感的星辰大海中逐梦前行。